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otsukael積分光度計

otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

  • 產品型號:SLS-6500HL
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2023-04-21
  • 訪  問  量:414
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otsukael靜態光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

特征:
  • 可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數

  • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

  • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

  • 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析

  • 通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性

 

測量項目
  • 橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量

  • 光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析

  • 膜厚分析

 

測量對象
  • 半導體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光學定數(波長分散)

  • 化合物半導體
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光學薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価

 

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